簡易型室温プローバー
（温度勾配機能・顕微赤外カメラユニット付属）
・直接サンプルに熱を与える温度勾配生成ユニット搭載
・顕微赤外線カメラユニット搭載
主な仕様
| サンプルステージサイズ | Φ80mm（3inch） |
| マイクロポジショナー | 取付方法：マグネット吸着式 |
| 移動量：X軸,Y軸,Z軸 ±6.0mm | |
| 移動精度：10μｍ | |
| 顕微赤外カメラユニット用プローブヘッド | |
| 温度勾配生成ユニット | 温度勾配生成プローブ（温度範囲：室温~100℃） |
| 顕微赤外カメラユニット | 測定温度範囲：15~90℃ |
| WD：11mm |
仕様は予告なく変更する場合がございます。
本システムは、早稲田大学 理工学術院 基幹理工学部電子物理システム学科 渡邉 孝信様の研究室に納入させて頂き、日々、研究にご使用頂いております。渡邉様のご厚意によりここにご紹介させて頂きます。
研究室ホームページ 渡邉孝信研究室
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T. Watanabe, S. Asada, T. Xu, S. Hashimoto, S. Ohba, Y. Himeda, R. Yamato, H. Zhang, M. Tomita, T. Matsukawa, Y. Kamakura, H. Ikeda, “A Scalable Si-based Micro Thermoelectric Generator,” 2017 IEEE Electron Devices Technology and Manufacturing Conference (EDTM) Proceedings of Technical Papers, 86-87 (2017).
お取り扱いメーカーの機器と合わせてシステムでのご提案も可能です。
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