3インチウェハー用クライオスタットシステム
・低温顕微分光用途
・2重管式トランスファーチューブ採用
・3インチウェハー対応サンプルホルダー
・LHeフロー型
主な仕様
| 到達温度（保証） | 15K以下 |
| 到達温度（目標） | 10K以下 |
| 温度範囲 | 到達温度～300K |
| 温度制御精度 | ±0.1K（設定温度に対して） |
| Working Distance | 10mm |
| 光学窓有効径 | φ77mm |
| サンプルホルダー | φ3インチ |
| システム構成 | 3インチウェハー低温顕微分光用クライオスタット （・顕微分光用クライオスタット本体 ・2重管式液体ヘリウム移送用トランスファーチューブ） |
| ガスハンドリングシステム | |
| 温度制御用センサー（シリコンダイオード） |
※システムには高真空排気装置を含んでおりません。オプションで選択頂くか別途ご用意下さい。
仕様は予告なく変更する場合がございます。
お取り扱いメーカーの機器と合わせてシステムでのご提案も可能です。
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